半導(dǎo)體特氣檢測探頭,PS-6/PS-6N
產(chǎn)品概述
PS-6/PS-6N半導(dǎo)體特氣檢測探頭是一款專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的氣體檢測設(shè)備,采用泵吸式采樣方式,可靈活安裝于各類復(fù)雜環(huán)境中。該產(chǎn)品通過更換不同傳感器實(shí)現(xiàn)對多種氣體的檢測,滿足半導(dǎo)體制造過程中對特種氣體泄漏監(jiān)測的需求。15
核心特點(diǎn)
該探頭采用模塊化卡式傳感器設(shè)計(jì),安裝和更換過程簡便快捷,無需專業(yè)工具即可完成操作。內(nèi)置泵吸系統(tǒng)能以0.5L/min的流量進(jìn)行氣體采樣,配合特氟龍材質(zhì)管路(外徑6mm/內(nèi)徑4mm),最長可實(shí)現(xiàn)20米距離的氣體采集,對于吸附性強(qiáng)的氣體則建議控制在5米范圍內(nèi)。產(chǎn)品具有現(xiàn)場濃度LED顯示功能,便于實(shí)時監(jiān)控氣體狀態(tài)。2610
技術(shù)參數(shù)
設(shè)備工作電壓為DC24V±10%,功耗約10-15W,輸出標(biāo)準(zhǔn)4-20mA模擬信號,可與各類測量系統(tǒng)兼容。外形尺寸為73mm×198mm×140mm(不含突起部分),重量約2.5kg。采用CVVS 3芯或4芯電纜連接,支持氣流故障信號傳輸。探頭內(nèi)置溫度補(bǔ)償電路,確保在不同環(huán)境溫度下(0-40℃)保持測量準(zhǔn)確性。4912
應(yīng)用場景
適用于檢測硅烷(SiH4)、砷化氫(AsH3)、磷化氫(PH3)、鍺烷(GeH4)等半導(dǎo)體工藝氣體,以及三甲基砷((CH3)3CAsH2)、三甲基磷((CH3)3CPH2)等有機(jī)金屬化合物氣體。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、光伏電池生產(chǎn)線、液晶面板制造等需要特種氣體監(jiān)控的工業(yè)場所。51422
使用優(yōu)勢
產(chǎn)品采用免現(xiàn)場標(biāo)定設(shè)計(jì),出廠預(yù)校準(zhǔn)的傳感器即插即用,大幅降低維護(hù)復(fù)雜度。獨(dú)特的流量調(diào)節(jié)技術(shù)和故障自診斷功能可實(shí)時監(jiān)測設(shè)備工作狀態(tài),當(dāng)檢測到氣體濃度超標(biāo)或系統(tǒng)異常時,會通過聲光報(bào)警和繼電器信號輸出提醒操作人員。緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其能適應(yīng)狹窄空間安裝需求。61527
簡單介紹
PS-6/PS-6N半導(dǎo)體特氣檢測探頭 半導(dǎo)體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N特點(diǎn): ¬ 泵吸式探頭,可安裝在各種場合。 ¬ 卡式傳感器,安裝、更換極為方便。
PS-6/PS-6N半導(dǎo)體特氣檢測探頭
的詳細(xì)介紹
PS-6/PS-6N半導(dǎo)體特氣檢測探頭
半導(dǎo)體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N
半導(dǎo)體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N特點(diǎn):
¬ 泵吸式探頭,可安裝在各種場合。
¬ 卡式傳感器,安裝、更換極為方便。
¬ 更換不同的傳感器可檢測不同的氣體。
¬ 不需要在設(shè)置現(xiàn)場進(jìn)行標(biāo)定
¬ 輸出4~20mA的標(biāo)準(zhǔn)信號,可接入各種測量系統(tǒng),亦可連接在已設(shè)置的 裝置中。
規(guī)格:
型 號 |
PS-6 |
PS-6N |
檢 測 原 理 |
定電位電解式、型半導(dǎo)體式、隔膜Galvanic電池式
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熱分解、定電位電解式 |
采 樣 方 式 |
泵吸引式(0.5L/min) |
采 樣 管 道 |
特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm,配管距離20m以內(nèi),但吸附性強(qiáng)的氣體大配管距離為5m. |
輸 出 信 號 |
4~20mA(包括負(fù)荷電阻、電纜電阻要300Ω以下)與電源的負(fù)端公用 |
故 障 輸 出 |
流量低時,開路集電極OFF |
適 合 電 纜 |
CVVS 3芯或4芯(使用氣流故障信號時) |
電 源 |
DC24V±10% |
消 耗 電 力 |
10W |
15W |
尺 寸 |
W73×H198×D140(mm)
(突起部分除外)
|
另有過濾部 |
重 量 |
約2.5kg |
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