PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭是一款專為半導體制造行業(yè)設(shè)計的氣體監(jiān)測解決方案，通過創(chuàng)新的傳感技術(shù)與模塊化設(shè)計，為高純度特種氣體環(huán)境提供實時、精準的泄漏監(jiān)測與濃度分析能力。該產(chǎn)品針對半導體制造過程中涉及的高毒、易燃、腐蝕性等特殊氣體特性進行優(yōu)化設(shè)計，可有效輔助企業(yè)提升生產(chǎn)環(huán)境安全性，降低工藝風險。
核心設(shè)計上，PS-6/PS-6N采用多層復合傳感技術(shù)，能夠精準識別ppm級氣體濃度變化，在保證檢測靈敏度的同時，實現(xiàn)對復雜氣體環(huán)境的抗干擾能力。探頭內(nèi)置智能溫補算法，可在-20℃至50℃的寬溫域環(huán)境下保持測量穩(wěn)定性，適應(yīng)半導體工廠不同區(qū)域的環(huán)境需求。其模塊化結(jié)構(gòu)支持快速拆裝維護，主體外殼采用抗腐蝕合金材質(zhì)與雙層密封工藝，在保障長期可靠運行的同時，大幅降低后期維護復雜度。
在產(chǎn)品適用性方面，PS-6系列可兼容氫氣、硅烷、氯氣、氟化氫等三十余種半導體制造場景常用特種氣體，通過即插即用式接口設(shè)計，可靈活接入現(xiàn)有氣體監(jiān)測系統(tǒng)。探頭的數(shù)字化輸出模式支持多維度數(shù)據(jù)分析，既能滿足實時預警需求，也可為工藝優(yōu)化提供參考依據(jù)。針對不同安裝場景，提供PS-6（標準型）與PS-6N（窄域型）兩種規(guī)格，分別適配管道集中監(jiān)測與設(shè)備近場監(jiān)控等細分需求。
該產(chǎn)品現(xiàn)已應(yīng)用于多座8英寸及12英寸晶圓廠的工藝設(shè)備配套系統(tǒng)，其緊湊的外觀設(shè)計有效降低對潔凈車間空間的占用。通過持續(xù)迭代的軟件算法，設(shè)備可在線完成自診斷與基線校準，顯著提升監(jiān)測系統(tǒng)的持續(xù)運作效能。企業(yè)可根據(jù)實際工藝需求，選擇單點或多節(jié)點組網(wǎng)部署方案，構(gòu)建覆蓋生產(chǎn)全流程的特氣安全防護網(wǎng)絡(luò)。
